SuperViewW1白光干涉儀器專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

?中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀應用用途多樣、設計簡(jiǎn)潔，能夠測量不同的材質(zhì)、結構、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿(mǎn)足廣泛的形貌測量應用。

中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類(lèi)型，讓3D測量變得簡(jiǎn)單。廣泛應用于3C電子、微納米材料、微機電、光學(xué)加工、半導體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。

SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器，可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的平整度、粗糙度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現對精密工件微觀(guān)形貌的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，可實(shí)現批量測量功能。能真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。