VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學(xué)系統以轉盤(pán)共聚焦光學(xué)系統為基礎，基于光學(xué)共軛共焦原理，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成高精度測量系統。能在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

中圖儀器CP系列薄膜厚度臺階測量?jì)x集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

CP系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀(guān)輪廓，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

VT6000微米級工件共聚焦3d測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉盤(pán)共聚焦光學(xué)系統為基礎，能在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

CP系列接觸式表面形貌臺階測量?jì)x用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數，是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器。它采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。

SuperViewW中圖精密白光干涉儀基于白光干涉技術(shù)原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，可以獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。