中圖儀器白光干涉儀

中圖儀器白光干涉儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場(chǎng)參數，把物鏡調節到被測工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì )主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數，完成工件表面形貌一鍵測量。

工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌。

產(chǎn)品參數

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測，一鍵分析、快速高效

標準配置

可選配置

應用領(lǐng)域

可廣泛應用于微機電、為納米材料、光學(xué)加工、超精密加工、3C電子、半導體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。

應用案例

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺階高度等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器白光干涉儀數秒內，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見(jiàn)的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準?！耙?jiàn)一葉而知深秋，窺一斑而見(jiàn)全豹" 這句話(huà)用來(lái)形容中圖儀器在超精密加工顯微測量場(chǎng)景中發(fā)揮的作用恰如其分。