白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測同質(zhì)材料嗎？

白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應用于材料科學(xué)等領(lǐng)域，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，是一種常見(jiàn)的光學(xué)輪廓測量?jì)x器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問(wèn)，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質(zhì)材料？”進(jìn)行深入探討。

白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測器等部分組成。儀器基于干涉現象原理工作：當兩束或多束光線(xiàn)相互疊加時(shí)，會(huì )發(fā)生干涉現象。白光干涉儀利用這種干涉現象來(lái)測量光的相位差，從而獲得材料的相關(guān)參數。

光源發(fā)出的白光通過(guò)分光器被分成兩束光線(xiàn)，分別經(jīng)過(guò)不同的光路。然后，這兩束光線(xiàn)再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過(guò)干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關(guān)信息。

白光干涉儀只能測同質(zhì)材料嗎？答案是否定的。在實(shí)際應用中，白光干涉儀的測量對象可以是各種類(lèi)型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無(wú)論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計算方法都可以提供準確而詳細的測量結果：

1、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性，因此可以采用簡(jiǎn)化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關(guān)參數（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準確的測量結果。

2、對于非同質(zhì)材料，由于其光學(xué)特性的差異性，分析方法相對更為復雜，通常需要借助計算機模擬和計算等手段來(lái)精確測量參數。

無(wú)論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應用前景。

SuperViewW1白光干涉儀能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。無(wú)論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，又或者是測量薄膜、涂層的厚度、光學(xué)膜的質(zhì)量、光學(xué)器件的性能等，在材料科學(xué)、光電子學(xué)、微電子學(xué)等領(lǐng)域都扮演著(zhù)重要的角色。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

總之，白光干涉儀并非只能測量同質(zhì)材料。盡管在非同質(zhì)材料的測量中需要更多的校準和計算，但通過(guò)精確的技術(shù)和分析方法，它仍然可以提供準確、詳細而可靠的測量結果，幫助我們深入研究材料的特性和性能。