中圖儀器CP系列薄膜厚度臺階測量?jì)x集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

CP系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀(guān)輪廓，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

CP系列接觸式表面形貌臺階測量?jì)x用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數，是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器。它采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。

CP系列微納樣品接觸式微觀(guān)表面臺階測量?jì)x對被測樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

中圖儀器CP系列國產(chǎn)探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數。采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。

中圖儀器CP系列納米級高精度臺階儀用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量，是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器。儀器采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，集成超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

中圖儀器CP系列探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，單拱龍門(mén)式設計，結構穩定性好，而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。

中圖CP系列國產(chǎn)高精度臺階儀品牌數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，能夠廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義，是微觀(guān)表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。