簡(jiǎn)要描述:基于白光干涉原理,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類(lèi)型,讓3D測量變得簡(jiǎn)單。廣泛應用于3C電子、微納米材料、微機電、光學(xué)加工、半導體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
外形尺寸 | (900x700x604)mm | 重量 | 150kg |
應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,航天,汽車(chē) | 光源 | 白光/綠光LED |
影像系統 | 1024x1024 | 標準視場(chǎng) | (0.98x0.98)mm |
XY移動(dòng)平臺尺寸 | (300x300)mm | Z向行程 | 100mm電動(dòng) |
Z向掃描范圍 | 10mm | 可測樣品反射率 | 0.05%~100% |
臺階測量準確度 | 0.7% | 臺階測量重復性 | 0.1%1σ |
白光干涉儀是3D檢測領(lǐng)域中高精度的精密測量?jì)x器之一,特別是在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域。市場(chǎng)中的國外白光干涉儀品牌,因為價(jià)格昂貴,讓很多企業(yè)望而卻步,品質(zhì)和售后也是參差不齊。做的好的國產(chǎn)白光干涉儀不多,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀算一個(gè)。
SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標,品質(zhì)和售后也有保障,更大的優(yōu)勢是軟件方面?;诎坠飧缮嬖?,中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類(lèi)型,其*的3D重建算法,自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統的配合測量精度可達亞納米級別,讓3D測量變得簡(jiǎn)單。
產(chǎn)品參數
標準配置
可選配置
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、參數測量:粗糙度、圍觀(guān)輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡;
2、環(huán)境噪聲檢測:實(shí)時(shí)監測,納米波動(dòng),也無(wú)可藏匿;
3、雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石”也能安然無(wú)恙;
4、自動(dòng)拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無(wú)縫”;
5、雙重振動(dòng)隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動(dòng)山搖,我自巋然不動(dòng)”。
性能特征
1、高精度、高重復性
3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統,以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統,保證了測量精度和測量重復性。
2、一體化操作的測量分析軟件
測量數據自動(dòng)統計,可視化窗口,結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,實(shí)現了快速批量測量的功能,自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
(1)軟件防撞保護ZSTOP
即在Z軸上設置停止位,設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當鏡頭運動(dòng)到該位置時(shí),就立刻停止不再向下運動(dòng),起到保護樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),觸發(fā)感應器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān),不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設備和產(chǎn)品,也守護每一分價(jià)值和信任。
應用領(lǐng)域
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1國產(chǎn)白光干涉儀讓輪廓測量?jì)r(jià)格更為實(shí)惠,分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。經(jīng)過(guò)十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長(cháng)機、SJ5700系列輪廓測量?jì)x、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測量、計量設備。從納米級的微觀(guān)形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的精密測量解決方案。
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