白光干涉儀器

現代化工業(yè)數字化測量要求高精度化、低成本和小型化，都是時代對制造業(yè)提出的緊迫要求。光學測量技術的迅速發(fā)展，使得利用光學原理開發(fā)的非接觸測量機及各種裝置越來越多，進一步提高了精度化、測量效率。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀器具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，其特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。

性能特征

1、高精度、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；

2）隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性。

2、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

3、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

4、雙重防撞保護措施

除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，保護儀器，降低人為操作風險。

5、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

SuperViewW1白光干涉儀器分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。