雙物鏡白光干涉儀

中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，可廣泛應用于3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、高?？蒲性核阮I域中。

在少數需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的自動拼接功能，能快速實現大區(qū)域、高精度的測量。

如一款旋轉拋物面零件，其表面有高反、超光滑、凹面弧形特征，用于微小位移和角度檢測。針對其凹面弧形的檢測需求，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡這兩個顯微測量儀器中，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀，能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

深圳市中圖儀器科技有限公司致力于精密計量、檢測儀器設備的研發(fā)、生產和銷售?，F擁有2千平方米的現代化科研辦公場地及3千平方米的精密加工、裝配基地，配備了科研設施和精密加工設備，按照ISO9001標準進行生產，為客戶提供高質量產品。