基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類(lèi)型，讓3D測量變得簡(jiǎn)單。廣泛應用于3C電子、微納米材料、微機電、光學(xué)加工、半導體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。

SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器，可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的平整度、粗糙度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現對精密工件微觀(guān)形貌的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能，可實(shí)現批量測量功能。能真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。