中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量?jì)x器?？梢詼y試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW3大尺寸白光干涉三維形貌儀具備各種類(lèi)型樣品表面微觀(guān)形貌的3D輪廓重建與測量功能，其中表面粗糙度和微觀(guān)輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動(dòng)，同時(shí)內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

SuperViewW1微米級白光干涉儀可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國內白光干涉儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸。

SuperViewW1白光干涉儀器專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

?中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀應用用途多樣、設計簡(jiǎn)潔，能夠測量不同的材質(zhì)、結構、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿(mǎn)足廣泛的形貌測量應用。

中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。