薄膜厚度臺階測量?jì)x

中圖儀器CP系列薄膜厚度臺階測量?jì)x集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。應用場(chǎng)景適應性強，對被測樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，能夠廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位。

CP臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，它對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

典型應用

產(chǎn)品功能

1.參數測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過(guò)程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類(lèi)似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

2.數采與分析系統

1）自定義測量模式：支持用戶(hù)以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來(lái)設定掃描路徑的測量模式；

2）導航圖智能測量模式：支持用戶(hù)結合導航圖、標定數據、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現掃描的測量模式。

3）SPC統計分析：支持對不同種類(lèi)被測件進(jìn)行多種指標參數的分析，針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

3.光學(xué)導航功能

配備了500W像素的彩色相機，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量。

4.樣品空間姿態(tài)調節功能

配備了精密XY位移臺、360°電動(dòng)旋轉平臺和電動(dòng)升降Z軸，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調節，提高測量精度及效率。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率，結合單拱龍門(mén)式設計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面，采用超低慣量設計和微小電磁力控制，實(shí)現無(wú)接觸損傷的接觸式測量；

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線(xiàn)度導軌，杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng)，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀(guān)形貌。

CP系列薄膜厚度臺階測量?jì)x采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。針對測量ITO導電薄膜的應用場(chǎng)景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺，能夠快速定位到測量標志位；

2）對于批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量；

3）提供SPC統計分析功能，直觀(guān)分析測量數值變化趨勢；

部分技術(shù)參數

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無(wú)凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）