臺階儀,也稱(chēng)為探針式輪廓儀或接觸式表面輪廓測量?jì)x,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。
臺階儀的核心部件是一個(gè)精密的觸針或探針,它被安裝在一個(gè)高度可調的支架上。當觸針沿被測表面輕輕滑過(guò)時(shí),由于表面可能存在微小的峰谷,觸針在滑行的同時(shí)會(huì )根據表面的起伏作上下運動(dòng)。這些上下運動(dòng)被轉換為電信號,通過(guò)精密的傳感器和數據采集系統記錄下來(lái)。
臺階儀測量膜厚的原理是基于臺階高度差的變化。具體操作時(shí),臺階儀的探針會(huì )沿著(zhù)薄膜表面移動(dòng),探針上的傳感器會(huì )記錄下探針在薄膜表面和基底表面的垂直位移變化,并通過(guò)數據處理系統轉換成薄膜的厚度值,從而計算出薄膜厚度。
CP系列臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有亞埃級分辨率和超微測力特點(diǎn)。在測量測薄膜厚度方面,具有以下特點(diǎn):
1)結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺,能夠快速定位到測量標志位;
2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量;
3)提供SPC統計分析功能,直觀(guān)分析測量數值變化趨勢;
1、高精度
CP系列臺階儀出色的重復性和再現性,其分辨率可達納米級別,滿(mǎn)足被測件測量精度的要求。它采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,接觸力非常小,具備超高的測量精度和測量重復性,亞埃級垂直分辨率適合各類(lèi)材質(zhì)、吸光特性的表面測量。
2、高效率
配備有高速數據采集和分析系統,采用超精細的運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù),測量穩定、便捷、高效。
3、多樣化的測量功能
除了測量膜厚,臺階儀還可以測量表面粗糙度、臺階高度等多種表面特性,具有很強的多功能性。
4、適應范圍廣
臺階儀樣品適應面廣,對測量表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求。
5、操作簡(jiǎn)單
臺階儀配備有用戶(hù)友好的操作界面和強大的數據處理軟件,操作簡(jiǎn)單。用戶(hù)只需將探針?lè )胖迷谂_階上,儀器便會(huì )自動(dòng)計算出薄膜的厚度,無(wú)需復雜的校準過(guò)程。
臺階儀在膜厚測量領(lǐng)域有其優(yōu)勢,它不僅提供了高精度的測量結果,而且同時(shí)具備快速、多功能和易于操作的特點(diǎn)。隨著(zhù)技術(shù)的不斷進(jìn)步,臺階儀在材料科學(xué)和精密工程中的應用將會(huì )更加廣泛,為薄膜材料的研究和質(zhì)量控制提供強有力的支持。
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