CP系列表面輪廓儀系統臺階儀可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

中圖儀器CP系列臺階高度厚度儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，也是一種常用的膜厚測量?jì)x器。它利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測量膜層表面的臺階高度來(lái)計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器CP系列薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。它是一種常用的膜厚測量?jì)x器，它是利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)測量膜層表面的臺階高度來(lái)計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器CP系列沉積薄膜臺階高度測量?jì)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

中圖儀器CP系列高精度臺階高度測量?jì)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。它能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器CP系列探針式臺階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測試是一種接觸式表面形貌測量?jì)x器，可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀(guān)表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

CP系列國產(chǎn)臺階儀測量穩定高效，儀器采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。