中圖儀器VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，可以獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。

NS系列微納樣品接觸式微觀(guān)表面臺階測量?jì)x對被測樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。它基于光學(xué)共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像。

SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.

中圖儀器VT6000共聚焦光學(xué)測量顯微鏡?是基于光學(xué)共軛共焦原理，以共聚焦技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測儀非接觸式掃描測量各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器，用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數。采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。