簡(jiǎn)要描述:線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
中圖儀器CP系列高精度薄膜厚度測量?jì)x是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。它是利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測量膜層表面的臺階高度來(lái)計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
CP系列高精度薄膜厚度測量?jì)x采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。針對測量ITO導電薄膜的應用場(chǎng)景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:
1)結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺,能夠快速定位到測量標志位;
2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量;
3)提供SPC統計分析功能,直觀(guān)分析測量數值變化趨勢;
1.臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2.粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn),可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;
3.翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過(guò)程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類(lèi)似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。
1.出色的重復性和再現性,滿(mǎn)足被測件測量精度要求
線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調
測力恒定可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統配有超高直線(xiàn)度導軌,杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng),提高掃描精度,真實(shí)反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導航系統,5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動(dòng)X(jué)Y載物臺, Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉臺
6.強大的數據采集和分析系統
臺階儀軟件包含多個(gè)模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價(jià)提供充分支持。
型號 | CP200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動(dòng)范圍X/Y | 電動(dòng)X(jué)/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動(dòng),360°連續旋轉 |
單次掃描長(cháng)度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相對濕度:濕度 (無(wú)凝結)30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)
地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))
懇請注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。
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