中圖激光干涉儀通用長(cháng)度測量工具

中圖激光干涉儀通用長(cháng)度測量工具sj6000利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

動(dòng)態(tài)測量應用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量

機器運動(dòng)控制性能評價(jià)：

1.運動(dòng)控制器PID控制參數測試與設置

2.高速運動(dòng)后機器的穩定性測試與評價(jià)

3.高性能運動(dòng)控制器的微小步幅的測試

振動(dòng)監視

1.掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實(shí)現高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合

2.機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

1.被測對象的振動(dòng)頻率分析

2.FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動(dòng)態(tài)測量

基于距離的動(dòng)態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統將沿著(zhù)軸線(xiàn)“飛行"測量，即運動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶(hù)間隔進(jìn)行數據采集。

提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續脈沖觸發(fā)采集。適用于運動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進(jìn)行數據采集。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)；

2、以光波長(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級；

3、使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s；

4、配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；

5、分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變。

在機床領(lǐng)域中的應用

中圖激光干涉儀通用長(cháng)度測量工具是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，在機床加工領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。

1.測量機床導軌的直線(xiàn)度和平行度。

導軌是機床中的重要零部件，直線(xiàn)度和平行度的誤差會(huì )直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過(guò)測量導軌上的干涉條紋來(lái)確定其直線(xiàn)度和平行度的偏差，從而指導后續的優(yōu)化和調整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過(guò)激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調整和修正，確保工件的加工精度和穩定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過(guò)激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續的機床調整和校準提供依據。

4.其它

除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個(gè)部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過(guò)程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩定性和可靠性。

對數控機床進(jìn)行螺距誤差補償

部分技術(shù)規格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線(xiàn)度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

長(cháng)垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長(cháng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

直線(xiàn)度附件：主要應用于Z軸的直線(xiàn)度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。