中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等，儀器分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測(cè)量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。

VT6000系列激光共聚焦3D圖像顯微鏡具有優(yōu)異的光學(xué)分辨率，通過(guò)清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況。還可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1高精度白光干涉儀對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

共聚焦顯微鏡工業(yè)測(cè)量?jī)x具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉測(cè)厚儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

VT6000系列共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作?？蓪?duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來(lái)自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無(wú)法達(dá)到的分辨率。VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺(tái)：電動(dòng)手動(dòng)均可調(diào)節(jié)。有自動(dòng)化功能：自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、多區(qū)域定位自動(dòng)搜索測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。