光學(xué)3D白光干涉儀

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D白光干涉儀采用光學(xué)非接觸式測量方法實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，加上其光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)構(gòu)特點

1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動的影響，還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。

2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數(shù)，使原來麻煩的“找條紋"，“選擇測試參數(shù)"過程，在一分鐘之內(nèi)，自動完成。

3.雙重防撞保護(hù)功能，除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，能保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。

軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量；

提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)。

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進(jìn)行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數(shù)指標(biāo)，實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

薄膜粗糙度測量

超精密加工

SuperViewW1光學(xué)3D白光干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)?？梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。