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簡(jiǎn)要描述：SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.
更新時(shí)間：2024-05-12產(chǎn)品型號(hào)：SuperViewW1廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家訪 問(wèn) 量：1218產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 900×700×604mm | 重量 | 150kg |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,航天,汽車,綜合 |
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量2D、3D參數(shù)。
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）
光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)
至大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）
臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
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