白光干涉測量儀系統(tǒng)

SuperViewW1白光干涉測量儀系統(tǒng)具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

性能特點

【3D測量，一覽無余】

采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，助您輕松觀察、測量樣品的任意特征。

【功能強大，參數(shù)齊全】

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。

【操作便捷，簡單明了】

直觀的操作界面，操作流程一目了然，自動聚焦，一鍵實現(xiàn)測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的分析功能，有一鍵分析功能。

【高重復(fù)精度，穩(wěn)定可靠】

采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。

【兩種型號，量身定制】

W1系列白光干涉儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型，另可針對不同的測量需求，在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合。

【廣泛應(yīng)用，貼心服務(wù)】

可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……

SuperViewW1白光干涉測量儀系統(tǒng)分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。