精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。
國產(chǎn)激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù),可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出;
機床激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標準,是高精度、高靈敏度的測量?jì)x器,在制造領(lǐng)域應用廣泛。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量,用于檢測數控機床、自動(dòng)化設備、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等,以及進(jìn)行數控機床、三坐標測量機的精度補償。
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