激光干涉儀：機床導軌平行度垂直度精密測量工具

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。廣泛應用于光學(xué)、機械、電子等各種領(lǐng)域的測量。其中，平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應用之一。

傳統的測量方法通常采用機械測量或光學(xué)測量，但這些方法存在著(zhù)精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠實(shí)現平行度和垂直度的高精度測量。

激光干涉儀平行度測量原理

平行度測量是在直線(xiàn)度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線(xiàn)度測量組成，參見(jiàn)下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調整。由第1運動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

平行度測量配置及應用

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線(xiàn)度鏡組（或長(cháng)直線(xiàn)度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

激光干涉儀垂直度測量原理

垂直度的測量是直線(xiàn)度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量配置及應用

垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線(xiàn)度鏡組（或長(cháng)直線(xiàn)度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。

激光干涉儀測量?jì)?yōu)點(diǎn)

1. 高精度

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出，精度可以達到納米級別，可以準確地測量出平行度和垂直度的微小變化。

2. 非接觸性

SJ6000激光干涉儀不需要接觸被測物體，不會(huì )對被測物體產(chǎn)生影響，也不會(huì )因為磨損而導致誤差。

3. 快速穩定

SJ6000激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率，測量速度非?？?；而且干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，干涉光路穩定可靠，保證了長(cháng)時(shí)間的穩定測量。

4. 適用范圍廣

激光干涉儀可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。

總之，激光干涉儀是一種強大的測量工具，可以廣泛應用于各種領(lǐng)域的平行度和垂直度測量工作。它的出現為各種精密制造和科學(xué)實(shí)驗提供了強有力的技術(shù)支持。