精密激光干涉儀

一、產(chǎn)品介紹

SJ6000精密激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

二、產(chǎn)品配置

SJ6000精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

主要應用場(chǎng)合：

1. 線(xiàn)性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；

2. 線(xiàn)性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；

三、應用實(shí)例

1、輕型線(xiàn)性鏡組附件應用實(shí)例：

2、可調轉向鏡 —— 斜軸的測量

可調轉向鏡本質(zhì)是可實(shí)現旋轉調節的平面反射鏡，通過(guò)旋轉鏡面可將光束偏轉25°~90°的角度，通常用于斜軸的測量。

可調轉向鏡及其光路原理構建圖

3、可調轉向鏡應用實(shí)例：

斜床的傾斜軸測量

四、角度測量原理

1、角度反射鏡旋轉時(shí)產(chǎn)生轉角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì )有相對應的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過(guò)運算處理，即可得出對應的角度值。

角度測量的光路原理構建圖

2、角度測量配置及使用方法

角度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足±10°范圍內的角度測量。

3、角度測量應用

主要應用于運動(dòng)軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量。

五、直線(xiàn)度測量原理

1、直線(xiàn)度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì )有相對應的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過(guò)運算處理，即可得出對應的直線(xiàn)度值。

2、直線(xiàn)度測量配置及使用方法

直線(xiàn)度測量配置主要由SJ6000主機、短直線(xiàn)度鏡組（或長(cháng)直線(xiàn)度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足±3mm范圍內的直線(xiàn)度測量。

3、直線(xiàn)度附件

直線(xiàn)度附件由大角錐反射鏡、90度轉向鏡和直線(xiàn)度底座構成。

4、應用場(chǎng)合：

適用于直線(xiàn)度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運動(dòng)軸的后端。

六、平行度測量原理

1、平行度測量是在直線(xiàn)度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線(xiàn)度測量組成，參見(jiàn)下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調整。由第1運動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

2、平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線(xiàn)度鏡組（或長(cháng)直線(xiàn)度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

七、垂直度測量原理

1、垂直度的測量是直線(xiàn)度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

2、垂直度測量配置

垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線(xiàn)度鏡組（或長(cháng)直線(xiàn)度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。Z軸的垂直度測量需增添直線(xiàn)度附件。

八、平面度測量原理

1、平面度的測量是在角度測量的基礎上進(jìn)行的延伸。平面度測量一般采用“對角法"在平面上進(jìn)行相應次數的角度測量，通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。

2、對角線(xiàn)法又稱(chēng)米字法，在平面度測量時(shí)，若激光干涉儀主機位于G點(diǎn)，激光束與線(xiàn)GE重合，建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進(jìn)行測量。

3、平面度測量配置

平面度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。其中，平面度鏡組由180mm可調基板、360mm可調基板和平面度旋轉鏡構成。

九、回轉軸測量原理

1、回轉軸測量需借助WR50自動(dòng)精密轉臺，與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉軸上，作為測角標準器，WR50可實(shí)現0~360°的角度測量范圍，±1″的測量精度，高轉速為10rpm。

2、假設回轉軸轉動(dòng)了5°，相連的WR50則反轉5°，相對于SJ6000角度測量而言并未產(chǎn)生角度偏轉，基于該原理即可實(shí)現回轉軸0~360°的高精度測量。

3、回轉軸測量軟件會(huì )將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計算，作為回轉軸實(shí)際轉動(dòng)的角度值.

4、回轉軸測量配置及使用方法

回轉軸測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉臺、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。

十、動(dòng)態(tài)測量概述

1、SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件搭配線(xiàn)性鏡組、角度鏡組或直線(xiàn)度鏡組可以進(jìn)行相應的線(xiàn)性、角度或直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測。

2、動(dòng)態(tài)測量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量和基于距離的動(dòng)態(tài)測量，SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件可對動(dòng)態(tài)測量數據進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

3、動(dòng)態(tài)測量應用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量

十一、產(chǎn)品功能特點(diǎn)

1. 精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2. 功能廣

• 可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

• 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

• 可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

• 可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

• 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

• 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

3. 軟件強

• 友好的人機界面；

• 豐富的應用功能模塊；

• 向導式的操作流程；

• 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

• 支持中文、英文和俄文界面；

• 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。