國產(chǎn)激光干涉儀

一、產(chǎn)品介紹

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

二、國產(chǎn)激光干涉儀線(xiàn)性測量

線(xiàn)性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線(xiàn)性測量的光路原理構建圖

1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線(xiàn)偏振光）；

2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線(xiàn)條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿(mǎn)足干涉條件；

3、角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(cháng)的距離，將會(huì )產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長(cháng)。

三、線(xiàn)性測量配置及使用方法

線(xiàn)性測量（線(xiàn)性軸位置精度測量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內的線(xiàn)性測量。其中，線(xiàn)性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線(xiàn)性測量結果生成的誤差補償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補償值，運動(dòng)控制系統制造商允許通過(guò)修改運動(dòng)軸的補償值來(lái)消除該運動(dòng)軸的位置誤差，補償，可以有效地降低運動(dòng)軸的位置誤差。

線(xiàn)性測量中目標位置的數據采集有基于位置的目標采集和基于時(shí)間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動(dòng)軸需設定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當運動(dòng)軸移動(dòng)到設定的定位點(diǎn)時(shí)，需設置停留時(shí)間，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當前點(diǎn)的數據采集。

四、線(xiàn)性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

五、線(xiàn)性測量附件

輕型線(xiàn)性鏡組 —— 特殊場(chǎng)合的應用

輕型線(xiàn)性鏡組的光路原理構建圖

輕型線(xiàn)性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量為8g，可以直接吸附在被測物體上，降低線(xiàn)性反射鏡的重量影響。

六、主要應用場(chǎng)合

1、線(xiàn)性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；

2、線(xiàn)性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；