中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。

以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術(shù)，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，通過(guò)數碼相機針孔的高強度激光來(lái)實(shí)現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力；以轉盤(pán)共聚焦光學(xué)系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。能測各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數。

中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長(cháng)微納級粗糙輪廓的檢測，所展現的放大圖像細節要高于常規的光學(xué)顯微鏡。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。