?SuperViewW中圖儀器白光干涉儀光學(xué)輪廓儀品牌基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SuperViewW3D顯微形貌與粗糙度光學(xué)輪廓儀通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。

SuperViewW非接觸式表面粗糙度光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸，可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW光學(xué)三維表面輪廓形貌儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW光學(xué)表面三維形貌輪廓測量?jì)x以白光干涉技術(shù)原理，用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量。通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量?jì)x由照明光源系統，光學(xué)成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

中圖儀器SuperViewW1輪廓尺寸測量?jì)x器設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸。