光學(xué)3D輪廓儀是一種用于測量物體表面三維形貌的精密儀器。它基于光學(xué)原理,特別是白光干涉技術(shù),以非接觸的方式獲取物體表面的高度、形狀和輪廓信息。工作原理是通過(guò)光源發(fā)出的光,經(jīng)過(guò)特定的光學(xué)系統(如分光棱鏡)分成兩束或多束光,一束或多束光照射到被測物體表面并反射回來(lái),另一束或多束光則作為參考光。當這兩束或多束光再次相遇時(shí),它們會(huì )發(fā)生干涉,形成特定的干涉條紋或圖案。這些干涉條紋或圖案會(huì )攜帶有關(guān)被測物體表面形貌的信息,通過(guò)專(zhuān)門(mén)的圖像處理和分析軟件,可以解算出物體表面的三維形貌數據。
1、系統開(kāi)機與預熱:開(kāi)啟輪廓儀的電源,并等待系統完成自檢和預熱過(guò)程,確保儀器穩定運行。
2、校準儀器:使用標準樣件或校準工具對輪廓儀進(jìn)行校準,以保證測量數據的準確性和可靠性。
3、樣品準備:將待測樣品放置在輪廓儀的樣品臺上,調整至合適的位置和角度。
4、設置測量參數:根據測量需求,在控制軟件中設置掃描范圍、速度、采樣點(diǎn)數等參數。
5、開(kāi)始測量:?jiǎn)?dòng)測量程序,輪廓儀的探針或激光頭將自動(dòng)對樣品表面進(jìn)行掃描。
6、數據采集與處理:掃描過(guò)程中,系統會(huì )實(shí)時(shí)采集表面輪廓的數據,并在軟件中進(jìn)行處理。
7、分析與評估:利用軟件提供的工具對測量結果進(jìn)行分析,如計算表面粗糙度、臺階高度等參數。
8、記錄與報告:將測量和分析結果保存為文件,必要時(shí)打印或導出詳細的測量報告。
9、關(guān)機與清理:測量完成后,關(guān)閉輪廓儀的電源,并對設備進(jìn)行適當的清理和維護。