3D顯微粗糙度光學輪廓儀

中圖儀器SuperViewW3D顯微粗糙度光學輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

典型結果

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

SuperViewW3D顯微粗糙度光學輪廓儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

應用領域

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能；

4)自動拼接測量；支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區(qū)域，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量；

6)數據處理功能：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

7)數據分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數據報表導出：支持word、excel、pdf格式的數據報表導出功能，支持圖像、數值結果的導出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié)、急停等；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設備調試和故障排查提供定量依據；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暎_保測量數據的高精度；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。

應用領域圖片

對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

部分技術指標

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