光學3D輪廓測量儀

SuperViewW1光學3D輪廓測量儀可廣泛應用于微機電、為納米材料、光學加工、超精密加工、3C電子、半導體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。對各種產品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺階高度等表面形貌特征進行測量和分析。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

產品特點

參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網打盡；

環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測，納米波動，也無可藏匿；

雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動"。

SuperViewW1光學3D輪廓測量儀是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的檢測儀器。只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場參數，把物鏡調節(jié)到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質量的2D、3D參數，完成工件表面形貌一鍵測量。