在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。

中圖儀器粗糙度輪廓儀檢測(cè)設(shè)備是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，具有12mm的粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測(cè)量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測(cè)量需求。

SJ5800國(guó)產(chǎn)表面粗糙度輪廓儀具有12mm的粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測(cè)量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測(cè)量需求。廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測(cè)量

SuperViewW1高精度3d輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測(cè)量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，且測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測(cè)量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器3d三維光學(xué)輪廓儀能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

?中圖儀器非接觸式3d光學(xué)輪廓儀SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。非接觸高精密測(cè)量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，而且測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

中圖儀器三維光學(xué)表面輪廓測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。