SJ6000激光干涉儀檢測光刻機

光刻機是集成電路生產(chǎn)的最關(guān)鍵的設備之一，在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中占據重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一，其運動(dòng)性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現的線(xiàn)寬和產(chǎn)率。

光刻機的工作臺是一個(gè)六自由度的運動(dòng)臺，其中X/Y向運動(dòng)臺是最核心的基礎工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線(xiàn)度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線(xiàn)性（重復）精度（Linear Positioning）的關(guān)鍵，是后續實(shí)現六自由度的控制的基石，是多層曝光對準精度的源頭。

本次檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線(xiàn)度，部分結果如下：

Y軸Vertical Straightness測量

X軸Pitch測量

X軸測量軸長(cháng)225mm，其中垂直直線(xiàn)度測得結果0.58μm。 

Y軸測量軸長(cháng)600mm，測得角度Yaw結果0.86″。