SJ6000激光干涉儀榮獲2020年中國儀器儀表學(xué)會(huì )科技進(jìn)步二等獎

本項目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識產(chǎn)權，穩頻精≤0.04ppm，測量精度0.5ppm,大測量距離80米。

SJ6000激光干涉儀可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數控機床、自動(dòng)化設備、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等，以及進(jìn)行數控機床、三坐標測量機的精度補償。

SJ6000激光干涉儀滿(mǎn)足了我國各級計量院所、精密加工制造、先進(jìn)數控機床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長(cháng)度測量方面的需求，提升了我國自主的精密激光測量水平和先進(jìn)計量檢定裝備的水平。

不忘鑄器初心，牢記圖強使命，中圖儀器持續投資研發(fā)極小和大尺寸的ODS超精密光學(xué)儀器，為3C電子、泛半導體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設備。