雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀，其利用激光干涉現(xiàn)象來測量物體的參數(shù)。其工作原理是激光器產(chǎn)生兩束不同頻率的激光束，這兩束激光束經(jīng)過分束器后被分成兩路，分別照射到物體表面和反射鏡上。當(dāng)兩束激光束在物體表面反射后，它們會形成干涉條紋。由于兩束激光束的頻率不同，它們在物體表面反射后的相位差也不同，因此干涉條紋的間距會隨著物體表面的形狀、長度等參數(shù)的變化而發(fā)生變化。通過測量干涉條紋的間距變化，就可以計(jì)算出物體的參數(shù)，如長度、形狀、表面粗糙度等。
雙頻激光干涉儀的技術(shù)特點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1、精度高：
以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米量級，細(xì)分后更可達(dá)到納米量級。這種高精度的測量能力使其在精密制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。
2、抗干擾能力強(qiáng)：
由于采用雙頻外差測量技術(shù)，雙頻激光干涉儀的接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，避免了直流放大帶來的零點(diǎn)漂移等問題。同時(shí)，利用多普勒效應(yīng)計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響，因此在光強(qiáng)度衰減90%時(shí)仍可得到滿意的信號。這使得它在惡劣的測試環(huán)境中也能保持較高的測量精度。
3、環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：
既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機(jī)，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。其對環(huán)境的適應(yīng)能力強(qiáng)，能夠在各種復(fù)雜的工作環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能。
4、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測速高：
測速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測量。這一特點(diǎn)使得它能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)中對快速測量的需求，提高了生產(chǎn)效率。
5、應(yīng)用范圍廣：
除了可用于長度的精密測量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等。此外，還可以分光行多路測量，實(shí)現(xiàn)多個(gè)參數(shù)的同時(shí)測量，進(jìn)一步提高了測量的效率和準(zhǔn)確性。
6、穩(wěn)定性好：
雙頻激光干涉儀的穩(wěn)定性較好，測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時(shí)間。這一特點(diǎn)使得它在長時(shí)間的測量過程中能夠保持較高的精度和穩(wěn)定性。
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