光學(xué)輪廓儀是一種基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的高精度測(cè)量?jī)x器，它廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，以非接觸、無損的方式對(duì)精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量。其通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測(cè)光路。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，被分光棱鏡分成兩束光：一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，形成干涉條紋。顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。
光學(xué)輪廓儀的主要結(jié)構(gòu)：
1、光源：
使用兩個(gè)LED光源，平均波長(zhǎng)為550nm，這種光源具有長(zhǎng)壽命且不需要更換。
LED光源能夠提供足夠的亮度，使光學(xué)系統(tǒng)在獲取樣品表面精細(xì)三維形貌的同時(shí)得到樣品的真實(shí)顏色信息。
2、光學(xué)系統(tǒng)：
光學(xué)放大倍率范圍為50X到2100X，總放大倍率為630X到25000X。
基于精密的照明和光學(xué)設(shè)計(jì)，通過在光路中增加高精度聚焦模塊，確保系統(tǒng)能夠精確探測(cè)到各點(diǎn)上焦面的位置。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)不受樣品表面粗糙度和反射率的限制，能夠同時(shí)測(cè)量不同反射率（從小于0.5%到大于85%）的樣品。
3、圖像傳感器：
使用彩色CCD相機(jī)作為圖像傳感器，分辨率不小于2448×2048像素。
CCD相機(jī)負(fù)責(zé)捕捉樣品表面的高質(zhì)量圖像，以便進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和處理。
4、載物臺(tái)：
載物臺(tái)能夠在XY方向自動(dòng)移動(dòng)，范圍為150mm×150mm。
自動(dòng)載物臺(tái)的設(shè)計(jì)使得測(cè)量過程更加便捷和準(zhǔn)確，可以對(duì)樣品的不同區(qū)域進(jìn)行快速定位和檢測(cè)。
5、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：
配備先進(jìn)的數(shù)據(jù)處理軟件，能夠?qū)Σ杉降膱D像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析。
系統(tǒng)軟件支持多種功能，包括自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；以及校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等數(shù)據(jù)處理功能。
提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，使用戶能夠快速獲得樣品表面的粗糙度、幾何輪廓等關(guān)鍵參數(shù)。
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