白光干涉儀3D形貌測量之美

白光干涉儀能測什么？有著“納米眼"之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實現(xiàn)0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學測量儀器。下面就讓我們一起來領略下國產(chǎn)白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。

SuperViewW1白光干涉儀

白光干涉儀采用的光學輪廓測量法可以非接觸式測量非平坦樣品，輕松測量出彎曲和其他非平面表面，還可以測出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時不會像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。

白光干涉儀3D形貌圖片：

圖1.超光滑_納米級表面

圖2.分成了32階的納米級微納光學元件

圖3.半導體芯片表面外觀

圖4.微納凹凸圓表面

圖5.拼接_摩擦磨損工藝零部件

圖6.拼接_大區(qū)域超光滑凹球面

圖7.光學衍射元器件

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。非接觸高精密光學測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，不僅能進行更高精度測量，在整個測量過程還不會觸碰到表面影響光潔度，能保留完整的晶圓片表面形貌。測量工序效率高，直接在屏幕上了解當前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數(shù)據(jù)。

硅晶圓粗糙度測量

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

白光干涉儀所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。