SJ6000激光干涉儀檢定位移傳感器的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是測量精度高、反應速度快、易于數(shù)字化測量。

在測量中設計一個精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比。位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀（標準）對定長位移進行測試對比，得出往復測試實驗結(jié)果。實驗環(huán)境：室溫18℃；相對濕度：52％RH；氣壓：754mmHg給出的位移檢定系統(tǒng)的讀數(shù)與激光干涉儀讀數(shù)，其差值小于±2．0um，這一誤差滿足預期的研究指標要求（不大于±2．5um）。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、*高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。