激光干涉儀是精度
高的線(xiàn)性位移測量?jì)x器，其光波可以直接對米進(jìn)行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會(huì )出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時(shí)，對設備產(chǎn)生懷疑。今天我們來(lái)說(shuō)說(shuō)引起激光干涉儀測量誤差的部分原因。
1、阿貝誤差
因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設備的運動(dòng)軸上引起的測量誤差稱(chēng)之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差，因此光學(xué)鏡組與運動(dòng)軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。
正確方式：設備校準時(shí)線(xiàn)性鏡組的安裝高度應該盡量靠近被測軸，使激光光束與運動(dòng)軸重合（或盡量靠近），減小阿貝誤差。
擴展：SJ6000激光干涉儀用戶(hù)在進(jìn)行兩臺同類(lèi)設備定位精度的對比時(shí)，應該進(jìn)行同軸比對，即共用線(xiàn)性鏡組，這樣才具有可比性。
2、環(huán)境因素
環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長(cháng)進(jìn)行補償。
1000mm示值因環(huán)境溫度、壓力、空氣濕度各自變化引起的示值變化量（單位：um）
同時(shí)環(huán)境補償單元中材料溫度探頭能實(shí)時(shí)高精度測量被測設備溫度，對其進(jìn)行溫度補償。但是往往因為操作人員將材料溫度探頭放置在錯誤的位置，致使采集的數據不能真實(shí)反映被測物體溫度狀態(tài)，從而增大測量誤差。
設備安裝在樓層地下室，有良好的溫度風(fēng)流控制，有效處理了環(huán)境的震動(dòng)問(wèn)題、氣流擾動(dòng)問(wèn)題。測量時(shí)因把材料溫度探頭以“錯誤方式”放置在擺放電腦的鐵架上，材料溫度探頭采集了非真實(shí)的被測物溫度信息，致使300mm量塊檢測數據超差。
把材料溫度探頭以“正確方式”放置在被測量塊周邊，并給予充分的恒溫時(shí)間，測量結果趨于中國計量院的校準值。
正確方式：在線(xiàn)性測量中，需要開(kāi)啟環(huán)境補償單元，并正確設置補償材料的種類(lèi)，放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測量中，需要給予環(huán)境補償單元以及被測物充分的恒溫時(shí)間。
3、余弦誤差
激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會(huì )造成測得的距離和實(shí)際的運動(dòng)距離之間有差異，此誤差被稱(chēng)為余弦誤差。
當激光測量系統與運動(dòng)軸未準直時(shí)，余弦誤差會(huì )使得測量的距離比實(shí)際距離要短。隨著(zhù)未準直角度的增加，誤差也跟著(zhù)顯著(zhù)增加。
處理方法：若激光測量出現余弦誤差，則激光讀數將會(huì )小于原本應有的數值。因此，通過(guò)“輕微”調整云臺的俯仰及偏轉旋鈕直到取得最大的激光讀數，將能消除軸上的余弦誤差。
4、死程誤差
死程誤差是在線(xiàn)性測量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會(huì )發(fā)生在定標后以及測量過(guò)程中的環(huán)境改變。
當測量時(shí)系統定標為L(cháng)1，若干涉鏡及反射鏡之間沒(méi)有動(dòng)作，且激光束四周的環(huán)境狀況有所改變，整個(gè)路徑(LI+L2)的波長(cháng)（空氣中）都會(huì )改變，但激光測量系統只會(huì )對L2距離進(jìn)行補償。因此，死程測量誤差會(huì )由于光束路徑L1沒(méi)有獲得補償而產(chǎn)生。
處理方法：在設定定標位置時(shí)，固定反射鏡和移動(dòng)鏡組應盡量彼此鄰接，以此減小死程誤差。
5、鏡組的安裝細節
將鏡組固定牢靠
為了最小化振動(dòng)作用并加強測量穩定性，鏡組應牢靠固定到所需的測量點(diǎn)上；磁力表座應直接吸住機床底座，避免吸裝在機床護罩或機床蓋等較薄弱的部分；確保吸裝的表面平坦且沒(méi)有雜質(zhì)。
力度均勻，防止機械飄移
不要把安裝螺釘和螺栓擰得太緊。應力太大可能導致螺釘塑性變形，而后在釋放應力時(shí)產(chǎn)生位置緩慢偏移。
6、正確使用精度
SJ6000激光干涉儀在正確的安裝手段、正確的環(huán)境補償、穩定的測量環(huán)境下即使70米距離都能滿(mǎn)足0.1Lum（L測量長(cháng)度，單位：m）精度，遠遠超出設備的線(xiàn)性標稱(chēng)精度0.5Lum（L測量長(cháng)度，單位：m）。
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