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簡(jiǎn)要描述：SJ6000高精度超精密激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標準，是高精度、高靈敏度的測量?jì)x器。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn).
更新時(shí)間：2024-06-24產(chǎn)品型號：SJ6000廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家訪(fǎng) 問(wèn) 量：375詳細介紹
| 品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,交通,航天,汽車(chē),綜合 |
SJ6000高精度超精密激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標準，是高精度、高靈敏度的測量?jì)x器。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
SJ6000高精度超精密激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。
主要鏡組圖
其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；
（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；
（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。
（1）友好的人機界面；
（2）豐富的應用功能模塊；
（3）向導式的操作流程；
（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線(xiàn)性測量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件) |
| 線(xiàn)性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線(xiàn)度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(cháng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線(xiàn)度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(cháng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(cháng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(cháng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(cháng)垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長(cháng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應用于Z軸的直線(xiàn)度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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