激光干涉檢測(cè)儀

SJ6000激光干涉檢測(cè)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。儀器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）SJ6000激光干涉檢測(cè)儀具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線性測(cè)量配置及使用方法

線性測(cè)量（線性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

線性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路，如下圖：

水平軸的線性測(cè)量示意圖

垂直軸的線性測(cè)量示意圖

SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

線性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。

傳感器線性精度測(cè)量

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

動(dòng)態(tài)測(cè)量

動(dòng)態(tài)測(cè)量概述

SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)。

動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

位移-時(shí)間曲線

速度-時(shí)間曲線

加速度-時(shí)間曲線

振幅-頻率曲線

動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

1.運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置

2.高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)

3.高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試

振動(dòng)監(jiān)視

1.掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合

2.機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

1.被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

2.FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶(hù)間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍：測(cè)量范圍：±10°

平面度測(cè)量范圍：±1.5mm