精密測量激光干涉儀

SJ6000精密測量激光干涉儀測量過程全自動化，效率高，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點?？蓽y量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強；可自動生成誤差曲線和補償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動計算定位精度結(jié)果，無需人工計算。

產(chǎn)品功能

1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3)可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

4)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

5)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

6)具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

7)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

SJ6000精密測量激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m